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【成功案例】国产兆纯EDI膜块替换某半导体企业超纯水产线EDI,实现超纯水系统降本增效
客户类型:8 英寸功率器件晶圆厂(IGBT/MOSFET)
项目规模:超纯水系统产水 2x30m³/h

项目概况
该华中地区半导体企业,超纯水系统长期配套进口 EDI 膜块,服务晶圆清洗、刻蚀、CMP 等核心工序,水质要求符合 SEMI 标准,产线 7×24h 连续运行。随着设备服役年限增加,原有进口模块存在价格高昂、维保服务响应慢等问题;模块老化后压差走高、电压逐升、水质波动,存在影响晶圆良率的风险,客户亟需在不停产前提下寻找稳定可靠的国产化替代方案。
客户痛点
进口 EDI 采购成本高,备件交期不可控,原厂上门维保费用昂贵;
旧模块性能衰减,清洗频次高,人力、药剂成本持续增加;
产线无法长时间停机,大规模改造管路方案投入大、风险高;
水质偶发波动,给功率器件制程良率带来潜在隐患。
兆纯解决方案
湖南兆纯技术团队现场踏勘,结合进水水质、原有机架管路、自控参数,采用ZC 系列半导体专用 EDI 膜块原位替换方案,模块接口、流量、电气参数与原系统兼容,无需改动主体管路;依托自研电子级EDI专用树脂与优化流道设计,强化硅、硼、痕量金属离子去除能力。
采用分批在线轮换替换方式,同步配套系统参数优化、模块调试、运维培训服务,同时提供长期预防性巡检方案。

项目成果(重点突出降本增效)
✅ 采购与备件成本下降:国产化膜块采购价格优于进口产品,备件备货周期大幅缩短,摆脱高价进口备件束缚,EDI 模块采购综合成本降低 50% 以上;
✅ 运维成本显著减少:新模块抗污染能力强,压差上升缓慢,化学清洗周期延长,清洗药剂、耗材以及运维人工投入明显减少;
✅ 减少停产损失,提升生产效率:不停产分批改造,无长时间停水,避免产线停工带来高额损失;产水电阻率稳定维持 17.1~18.2MΩ・cm,水质波动问题消除,降低杂质引发的晶圆不良风险,保障良率稳定;
✅ 绿色节能,降低隐性成本:EDI 电去离子工艺无需酸碱再生,危废处理费用减少,契合工厂节能降碳、绿色生产管理目标;
✅ 技术快速响应:湖南兆纯技术团队可快速到场处理,对比进口品牌漫长的售后排期,故障响应效率大幅提升。
客户价值总结
本次国产化替换,不只是设备替代,而是在保障半导体超纯水严苛水质标准的基础上,从采购、备件、运维、停产风险多个维度实现降本增效,帮助客户平衡水质稳定性、生产连续性、综合运营成本,打通超纯水核心装备供应链自主可控路径。


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